風速変換器 Model 6333

半導体製造装置内の風速監視

ウエハの微細加工を行う半導体製造装置は、浮遊粒子がウエハへ付着することを防止するため、搬送部分などにFFU（ファンフィルターユニット）からクリーンな空気が供給されています。風速変換機を装置に組み込むことで風速の監視が簡単に行えます。

高機能フィルム製造工程の風速監視

高機能フィルムは、スマートフォンや有機ELテレビ、あるいは、リチウムイオン電池の電極材などさまざま製品で利用されています。フィルムの品質を維持するために、加熱や冷却、乾燥などの工程で風速が監視されており、生産設備に取り付けることができる風速変換機が適しています。

局所排気装置・FFUの風量監視

ドラフトチャンバーなどでの排出風量を監視・制御することによって、有害物・危険物取り扱い作業時の作業者への暴露、及び環境への漏出防止が行えます。またFFU（ファンフィルターユニット）の風速変動を監視することにより、目詰まりや交換時期の予測が可能です。

住宅の24時間換気システムの計測モニターリング

常時換気では換気システムの効率性・経済性が要求されます。給気・排気量のバランシングや在宅時の風量アップ、窓開放時の風量ダウンなど、住宅の換気風量を直接的に常時監視する効果的な制御が可能です。