高圧拡散器 Model 3960 シリーズ
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概要
高圧ガス中の清浄度を、お使いのパーティクルカウンターで測定。
半導体・電子部品メーカー、製薬メーカー、食品工場、ならびにガス供給・ユーティリティ設備を管理する事業者の現場では、クリーンルームや製造設備に供給される圧縮空気（CDA）、窒素（N₂）、アルゴン（Ar）等の品質・清浄度管理が重要視されています。しかし、一般的なパーティクルカウンターを高圧配管に直接接続すると、機器の破損や測定精度の著しい低下を引き起こす危険性がありました。本製品「高圧拡散器 Model 3960シリーズ」は、高圧ガスを減圧・拡散して大気圧付近まで落とすことで、パーティクルカウンターでの安全かつ高精度な測定を可能とします。本製品の投入により、既存のパーティクルカウンターの用途領域を大幅に拡張し、高圧ガス配管を対象とした新たな清浄度管理アプリケーションを提案いたします。
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既存パーティクルカウンターとの組み合わせ提案
0.1μmの微粒子測定や、100L/minの大流量サンプリングに対応した、「据置型パーティクルカウンター」、持ち運びに優れた「ハンドヘルドパーティクルカウンター」とパッケージで組み合わせることにより、現場の測定環境に応じた最適なシステム構築が可能です。
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高圧ラインの汚染状態を「可視化」
従来は直接測定が難しかったCDAやN₂などの高圧ユーティリティラインにおいて、本製品で安全に減圧し当社パーティクルカウンターと接続することで、配管内の粒子汚染リスクの可視化（数値管理）を実現します。食品ラインにおける酸化防止用窒素ガスの噴射・封入ラインの清浄度管理にも効果を発揮します。
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各種ガス・高圧仕様に対応
CDA、窒素（N₂）、アルゴン（Ar）、二酸化炭素（CO₂）に対応し、圧力範囲0.3～0.8 MPaまでカバー。本体材質には耐腐食性に優れるステンレス（SUS304 / SUS316）を採用しています。
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特長
既存パーティクルカウンターとの組み合わせ提案
0.1μmの微粒子測定や、100L/minの大流量サンプリングに対応した、「据置型パーティクルカウンター」、持ち運びに優れた「ハンドヘルドパーティクルカウンター」とパッケージで組み合わせることにより、現場の測定環境に応じた最適なシステム構築が可能です。
高圧ラインの汚染状態を「可視化」
従来は直接測定が難しかったCDAやN₂などの高圧ユーティリティラインにおいて、本製品で安全に減圧し当社パーティクルカウンターと接続することで、配管内の粒子汚染リスクの可視化（数値管理）を実現します。食品ラインにおける酸化防止用窒素ガスの噴射・封入ラインの清浄度管理にも効果を発揮します。
各種ガス・高圧仕様に対応
CDA、窒素（N₂）、アルゴン（Ar）、二酸化炭素（CO₂）に対応し、圧力範囲0.3～0.8 MPaまでカバー。本体材質には耐腐食性に優れるステンレス（SUS304 / SUS316）を採用しています。
用途に応じた4種類の流量に対応
測定対象となる計測器に応じて、2.83 L/min、28.3 L/min、50 L/min、100 L/minの流量に対応するモデルをラインアップしています。パーティクルカウンターなどの仕様に合わせてモデルを選択できます。
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用途
1.半導体・電子デバイス分野
精密製造プロセスにおけるプロセスガス（CDA、N₂、Ar 等）内の粒子測定
2.製薬・バイオ・医薬品分野
GMP管理環境下における各種ユーティリティガスの品質管理、ならびに製造ラインにおける微粒子・浮遊菌測定
3.食品・飲料分野
鮮度保持・酸化防止用窒素（N₂）ガスの噴射・封入ライン、および各種ユーティリティエアの粒子管理
4.ガス供給・設備管理分野
ガス供給設備やユーティリティ配管の施工・メンテナンス時における清浄度検証
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仕様
モデル番号 3960-00 3961-00 3962-00 3963-00 3964-00 適用流量 2.83 L/min 28.3 L/min 50 L/min 100 L/min 圧力範囲 0.3 ～ 0.8 MPa 動作環境 10 ～ 30℃/ 0 ～ 85 %RH（結露ない事） 材質 SUS304 SUS316 適用ガス クリーンドライエア（CDA）、アルゴン（Ar）、窒素（N2）、二酸化炭素（CO2) 排気口接続 φ 1/4 inch（φ6.4 mm） φ1/2 inch（φ12.7 mm） 吸気口接続 φ 1/4 inch（φ6.4 mm）（ナットカプラーアセンブリ） 寸法 φ30 mm × 326 mm × 120 mm φ30 mm × 326 mm × 167 mm 質量 約 0.87 kg 約 1.0 kg 対応機種 3888、3889、
3889－01、39053905 3910 3920 3080、3081 -
付属品・別売品
付属品
項目 数量 3960-00 3961-00 3962-00 3963-00 3964-00 クイックガイド 1冊 〇 〇 〇 〇 〇 チューブ継手 2個 〇 〇 〇 〇 〇 スクリングクリップ 2個 〇 〇 〇 〇 〇 調整バルブ 1個 ー ー ー 〇 〇 継手（100 LPM-01） 1個 ー ー ー ー 〇 タイゴンチューブ
［ACF00012］0.5 m 〇 ー ー ー ー タイゴンチューブ
［ACF00023］0.5 m ー 〇 〇 〇 〇 フィルター 1個 〇 〇 〇 〇 〇 -
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