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SUMMARY:第65回 応用物理学会 春季学術講演会
DESCRIPTION:応用物理学会は毎年春と秋に開催され、応用物理学および関連学術分野に関する\n4\,000件の最先端の研究発表が行われます。\n \n弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる\n反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MSinfiTOF-UHV\nを出展いたします。\n\n特に、名古屋大学 天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化\nガリウム(GaN)の結晶成長プロセスの解明のため、infiTOFを活用いただいており\nます。\n \n当日は、名古屋大学 天野研究室によるinfiTOFの実用例を含めた展示をいたしま\nす。\n　　　　　\n皆様のご来場をお待ちしております。\n \n　　　　　　　　　　\n講演会のご案内\nhttps://meeting.jsap.or.jp/\n 
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