走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC Model 9010

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  • 概要

    世界初の最小可測粒径10 nmを達成。
    超純水の粒子汚染を高感度で常時モニタリングできる液中パーティクルカウンター。

    ScaningTPCは超純水におけるナノレベルのコンタミを検出する全く新しい液中パーティクルカウンターです。微粒子の計測に関してはこれまで業界における最小可測粒径は20 nm(0.02 μm)が限界と言われていました。ScaningTPCはこれまで用いられていた微粒子にレーザー光を照射してその散乱光を検出する光学的な測定原理とは全く異なる新技術により、世界初の最小可測粒径10 nm(0.01 μm)を達成しました。この技術は、サンプルの超純水を高精度に噴霧する特許取得の独創的なネブライザーと、凝縮粒子カウンター(CPC)を組み合わせるというKanomax FMT, Inc.とCT Associates社との共同開発により誕生したものです。

    Model 9010  : 走査型液中ナノパーティクルカウンター
    Model 9110  : ナノパーティクルネブライザー
    Model 9210  : 高精度希釈システム 

    走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC Model 9010

  • 特長

    世界初の最小可測粒径10 nmを達成

    特許取得の光散乱を用いた従来の光学式計測における粒子の屈折率や形状の違いが検出感度に影響を与えるデメリットを払拭するとともに、世界初の最小可測粒径10 nm(0.01 μm)を達成しました。

    SEMIガイドライン推奨測定方法と、研究分野第一人者による開発

    SEMIガイドラインの推奨測定方法として認定された測定方法です。開発者であるKanomax FMT社のDavid Blackford氏は本エアロゾル関連計測技術の第一人者であり、その革新的な技術でこれまでに各種米国特許を取得および出願中です。

    持ち運びに便利な小型モデル

    高精度な計測器でありながら、わずか16.1kgと軽量かつポータブルサイズのため、場所を選ばずに設置できます。さらにメンテナンスも最小限で実施出来るように設計されています。

    測定粒径は10~20 nm間で5 nm毎に設定可能

    例えばチャネル10 nm を選択時、粒径10 nm 以上の測定が可能です。(上限100 nm 程度)
  • 用途

    半導体製造の洗浄工程に

    デバイス製造過程で用いられる超純水の粒子汚染モニタリングに。

    超純水中の微粒子モニタリングに

    超純水中の不純物検出をより高精度に計測。
  • 仕様

    本体の仕様
    測定方式 独自ネブライザーと凝縮粒子カウンター(CPC) による測定
    測定粒径 10 ~ 20 nm の間で5 nm ごとの設定
    (10 nm 以上、15 nm 以上、20 nm 以上) 検出効率50%
    チャンネル調整時間 3 ~ 10 分(粒径チャンネル変更時、安定するまでの時間)
    測定範囲 103 ~ 1010 個/mL
    検査堆積率
    <1 μL/min >10 μL/min( 導入試料に対して実際に測定している液量)
    総流量 50 ~ 280 mL/min
    濃度変化反応時間 30 秒(濃度変化に対する反応時間)
    試料水圧 200 ~ 500 kPa (29 ~ 72 psig)
    圧縮空気流量/圧力 25std L/min CDA もしくは窒素
    UPW不揮発残留物最大量∗ 粒径チャネル10 nm で200 ppt、20 nm で1 ppb
    接液部 PFA, PTFE, PEEK, サファイア、316L ステンレス鋼
    検出作動流体 試薬特級n ブチルアルコール
    作動流体消費速度 約150 mL/ 日(1 ビンを1 週間で消費)
    作動流体の蒸気除去 ハウスバキュームにより吸引(外部真空源の使用時は不要)
    検出真空源 内蔵ポンプもしくは、外部の真空源 流量1L/min、絶対圧400m バール
    動作環境 温度:15 ~ 35℃ 湿度:0 ~ 85% 結露無きこと
    電源(ネブライザー) 海外対応 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大90 W
    電源(検出器) 海外対応 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大210 W
    出力 Modbus 用RJ-45、USB フラッシュドライブ
    内部記憶装置 Micro SD
    超純水インレット 1/4 インチ(6.35 mm)PFA Flaretek® 
    排水アウトレット 1/2 インチ(12.7 mm)SS Swagelok® 
    圧縮空気インレット 1/4 インチ(6.35 mm)SS Swagelok® 
    検出バキューム 1/4 インチ (6.35 mm)SS Swagelok®  ポート
    ディスプレイ 7 インチTFT カラー、タッチパネル( 縦87 mm× 横154 mm)
    外形寸法 420(W)x430(D)×270(H)( ボトルありの場合430) mm
    質量 16.1 kg
    ∗ UPW 不揮発残留物(残渣)最大量 … 粒子を検出する上で影響を及ぼさない超純水中の不揮発性残留物の量。
  • 付属品・別売品

    別売品

    NanoParticle Nebulizer
    ナノパーティクルネブライザー Model 9110

    従来のネブライザーでは不揮発性残留物(蒸発残渣)の影響を受けることがありましたが、本製品は噴霧液滴のピーク粒径が直径1 μm未満となる極小液滴を生成することにより蒸発残渣の影響を削減し、発生させるPSL(ポリスチレンラテックス)標準粒子等の表面への蒸発残渣の付着(コーティング)を軽減。本製品はScanningTPC内部に主要部品として組み込まれています。また、他の製品と組み合わせてシステム構成品として使用することも可能です。






    Precision Dilution System
    高精度希釈システム Model 9210

    わずか90分以内の短時間で簡単な操作で、高純度、微粒子懸濁、あるいはクリーンな溶媒の希釈を可能にする革新的な希釈システムです。本製品とカノマックスナノ標準粒子を用いて、ScanningTPCの校正器として、またお手持ちの光学式パーティクルカウンターやレーザーパーティクルカウンターの精度管理としてもご利用いただけます。軽量で堅牢、小型なので置き場所を選びません。簡単なセットアップ手順と最小限のメンテナンスにより使いやすさを実現しました。









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