応用物理学会は毎年春と秋に開催され、応用物理学および関連学術分野に関する4,000件の最先端の研究発表が行われます。
 

弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MS infiTOF-UHVを出展いたします。

名古屋大学 天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化ガリウム(GaN)の結晶成長プロセスの解明のため、infiTOFを活用いただいております。

当日は、名古屋大学 天野研究室によるinfiTOFの実用例を含めた展示をいたします。
 

皆様のご来場をお待ちしております。

 

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