第10回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会｜イベント情報

イベント情報

2018年07月12日

会期	2018年07月12日（木）～ 2018年07月13日（金）
会場	名古屋大学東山キャンパス
内容	本講演会は、日本結晶成長学会の分科会である、ナノ構造・エピタキシャル成長分科会の講演会として毎年催されております。弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MS infiTOF-UHVを展示いたします。特に、名古屋大学天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化ガリウム(GaN)の結晶成長プロセスの解明のため、infiTOF-UHVを活用いただいております。皆様のご来場をお待ちしております。　　　　　　　　　　　講演会のご案内　http://iwn2018.jp/nanoepi10/ 　　infiTOF-UHVのご紹介　http://www.kanomax.co.jp/product/index_0116.html