第19回有機金属気相エピタキシャル成長国際会議（ICMOVPE-XIX）は有機金属化合物気相成長（MOVPE）を用いた結晶成長、結晶評価、さらにデバイス応用について最新の研究成果を発表し、議論を行うための専門家会議です。
 

MOVPE装置は窒化物半導体の基板となるGaN,AlGaN等の結晶成長用として多く用いられています。
 

弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MS infiTOF-UHVを出展いたします。

 

名古屋大学 天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化ガリウム(GaN)の結晶成長プロセス解明のため、infiTOFを活用しており、当日は天野研究室によるinfiTOFの実用例を含めた展示をいたします。

 

皆様のご来場をお待ちしております。

　　　　　
 

　　　infiTOF-UHVのご紹介

　　　http://www.kanomax.co.jp/product/index_0116.html