応用物理学会は毎年春と秋に開催され、応用物理学および関連学術分野に関する
4,000件の最先端の研究発表が行われます。

 

弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる
反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MSinfiTOF-UHV
を出展いたします。

特に、名古屋大学 天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化
ガリウム(GaN)の結晶成長プロセスの解明のため、infiTOFを活用いただいており
ます。

 

当日は、名古屋大学 天野研究室によるinfiTOFの実用例を含めた展示をいたしま
す。

　　　　　

皆様のご来場をお待ちしております。
 

　　　　　　　　　　

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