イベント情報

2018年03月17日 イベント

第65回 応用物理学会 春季学術講演会

会 期 2018年03月17日(土) ~ 2018年03月20日(火)
会 場 ベルサール高田馬場
内 容
応用物理学会は毎年春と秋に開催され、応用物理学および関連学術分野に関する
4,000件の最先端の研究発表が行われます。
 
弊社では、半導体における結晶成長、成膜、エッチング等各プロセスで生じる
反応生成物のモニタリングに有効なポータブル型髙分解能TOF-MSinfiTOF-UHV
を出展いたします。

特に、名古屋大学 天野研究室では次世代パワー半導体として注目されている窒化
ガリウム(GaN)の結晶成長プロセスの解明のため、infiTOFを活用いただいており
ます。
 
当日は、名古屋大学 天野研究室によるinfiTOFの実用例を含めた展示をいたしま
す。
     
皆様のご来場をお待ちしております。
 
          
講演会のご案内
infiTOF-UHVのご紹介
 

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